Pozorování izolantů v ESEM
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Diplomová práce se v teoretické části zabývá principem a problematikou detekce signálních elektronů v rastrovací elektronové mikroskopii a problematikou projevů nabíjení izolačních vzorků. V experimentální části je popsána metodika kvalifikace a kvantifikace projevů nabíjení izolačního vzorku pozorovaném v environmentálním rastrovacím mikroskopu pomocí ionizačního a scintilačního detektoru v závislosti na tlaku vodních par v komoře vzorku. Cílem práce je vytvoření metodiky vhodné pro vyhodnocení nabíjecích projevu při pozorování u izolačních vzorku a na základě měření, stanovení optimálních podmínek pozorování izolantů v EREM pro ionizační a scintilační detektor.
This graduation theses in introduction deals with principle and problems of electron signal detection in scanning electron microscopy and charging of insulating specimens in SEM. The experimental part of the thesis describe the methods of qualification and quantification of insulating specimen charging effect observed in environmental scanning electron microscope through the use of ionisation and scintillation detector in dependence on water vapour pressure in specimen chamber. The goal of the thesis is formation of the methodics useful to evaluate charging effect at insulating specimens observing and on the basis of measuring, determine optimal conditions for insulating specimen observation with ionisation and scintillation detector.
This graduation theses in introduction deals with principle and problems of electron signal detection in scanning electron microscopy and charging of insulating specimens in SEM. The experimental part of the thesis describe the methods of qualification and quantification of insulating specimen charging effect observed in environmental scanning electron microscope through the use of ionisation and scintillation detector in dependence on water vapour pressure in specimen chamber. The goal of the thesis is formation of the methodics useful to evaluate charging effect at insulating specimens observing and on the basis of measuring, determine optimal conditions for insulating specimen observation with ionisation and scintillation detector.
Description
Citation
MATĚJKA, M. Pozorování izolantů v ESEM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2008.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Elektrotechnická výroba a management
Comittee
prof. Ing. Jiří Vondrák, DrSc. (předseda)
doc. Ing. František Bartes, CSc. (místopředseda)
doc. Ing. František Vaníček, CSc. (člen)
doc. Ing. Jiří Vaněk, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Petr Křivík, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2008-06-10
Defence
Student nejprve v prezentaci seznámil komisi s obsahem své diplomové práce na téma Pozorování izolantů v ESEM. Dále probral v teoretické části metody zpracování obrazu a v praktické části uvedl sledované parametry a měření s výsledky. Student následně rozebral otázky oponenta a zodpověděl otázky komise.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení