Korelativní měření katodoluminiscence za použití technik SEM a SPM

Abstract

Diplomová práca sa zaoberá kombinovaným použitím techník SEM a SPM za použitia optického vlákna, ktoré slúži k zberu katódoluminiscenčného signálu v tesnej blízkosti vzorky. Práca taktiež obsahuje rešeršnú časť, v ktorej je uvedený popis CPEM techniky, ďalej sú uvedené použité techniky potrebné pre úpravu optického vlákna, teoretický úvod do katódoluminiscencie a zaužívané techniky pre jej meranie. V praktickej časti sú diskutované získané výsledky meraní a problémy, ktoré nastali počas procesu úpravy optického vlákna, jeho použití ako sondy SPM a pri samotnom meraní materiálov vykazujúcich katódoluminiscenciu.The diploma thesis deals with the combined use of SEM and SPM techniques using optical fiber, which is used to collect the cathodoluminescent signal in close proximity to the sample. The thesis also includes a research section, which lists description of CPEM technique, the techniques used to modify the optical fiber, theoretical introduction to cathodoluminescence and techniques used to measure it. The practical part discusses the obtained measurement results and the problems that occurred in the process of modification of the optical fiber, its use as an SPM probe and in the measurement of cathodoluminescence active materials.