CVD grafenový sensor relativní vlhkosti měřený v atmosférických podmínkách a podmínkách vakua

Abstract

Tato bakalářská práce se zabývá využitím grafenu jako sensoru plynu a vlivem hradlového na- pětí na změnu citlivosti sensoru. V první části jsou shrnuty poznatky, týkající se grafenu jako sensoru vodíku, kyslíku a vody. Experimentální část byla věnována měření a porovnání změny odporu v závislosti na okolní vlhkosti a to pro čistý grafen, grafen modifikovaný ionty Ar+ a gra- fen s nanesenou vrstvou Ga. Další experiment se zabýval rychlostí ustalování odporu grafenu poté co bylo na hradlo připojeno napětí. Poslední část se zabývá úpravou environmentální komory.This bachelor thesis deals with the utilization of graphene as a gas sensor and the effect of gate voltage on sensor sensitivity change. The first part summarizes knowledge about graphene as a sensor of hydrogen, oxygen and water. The experimental part was devoted to measuring and comparing resistance variation in dependence on ambient humidity for pure graphene, graphene-modified by Ar+ ions and Ga-coated graphene. Another experiment dealt with the rate at which the resistance of graphene was stabilized after an application of gate voltage. The last part deals with the environmental chamber.