Ionizační detektor pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop
Loading...
Date
Authors
Melechovský, Ondřej
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
ORCID
Abstract
Předkládaná práce se zabývá environmentální rastrovací elektronovou mikroskopií. Na začátek je stručně popsána stavba přístroje. Důležitá část práce je věnována interakcím elektronů se vzorkem a signálům vystupujícím ze vzorku. Zejména se práce soustředí na detekci sekundárních elektronů pomocí ionizačního detektoru. Experimentálně je v práci určen vliv pracovních podmínek a velikosti elektrodového systému ionizačního detektoru na velikost detekovaného signálu.
Presented work deals with environmental scanning electron microscopy. The construction of the device is described concisely in the beginning. Important part is devoted to interaction of electrons with specimen and signals emitted from the specimen. The work aims especially at detection of secondary electrons using the ionization detector. Experimentally is determined effect of working environment and size of electrode system of ionization detector on detected signal.
Presented work deals with environmental scanning electron microscopy. The construction of the device is described concisely in the beginning. Important part is devoted to interaction of electrons with specimen and signals emitted from the specimen. The work aims especially at detection of secondary electrons using the ionization detector. Experimentally is determined effect of working environment and size of electrode system of ionization detector on detected signal.
Description
Keywords
Environmentální rastrovací elektronový mikroskop , zpětně odražené elektrony , sekundární elektrony , inoizační detektor , velikost elektrodového systému , úroveň signálu , Environmental scanning microscope , backscattered electrons , secondary electrons , ionization detector , size of electrode system , signal level
Citation
MELECHOVSKÝ, O. Ionizační detektor pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2014.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika a technologie
Comittee
prof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (předseda)
Ing. Pavel Prosr, Ph.D. (místopředseda)
doc. RNDr. Andrea Straková Fedorková, Ph.D. (člen)
Ing. Ondřej Čech, Ph.D. (člen)
Ing. Martin Adámek, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Jiří Vondrák, DrSc. (člen)
Date of acceptance
2014-06-16
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením závěrečné vysokoškolské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Otázky v diskuzi:
Jaké je napětí na zmiňovaných elektrodách?
Jakou elektroniku jste použil pro zpracování detekovaného signálu?
Jaké vzorky se měří v uvedeném environmentálním elektronovém rastrovacím mikroskopu?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena