Optický návrh telecentrického f-theta objektivu

Abstract

Diplomová práce se zabývá optickým návrhem f-theta objektivu pro precizní mikro-obrábění laserovým svazkem. Optický návrh se sestává z vytvoření návrhu se splněnými specifikacemi podle společnosti Meopta - optika s.r.o a toleranční analýzy, která popisuje vyrobitelnost daného návrhu. Splněnými specifikacemi se rozumí zejména difrakčně limitovaná kvalita zobrazení, potlačení zkreslení v celém poli a telecentricita v obrazovém prostoru systému. F-theta objektiv byl vytvořen optimalizaci pomocí programu ZEMAX OpticsStudio.This thesis deals with optical design of f-theta lens for purposes of precision micromachining using a laser beam. Optical design consists of creating a nominal design according to specifications given by Meopta – optika s.r.o company and a tolerance analysis, which describes manufacturability of given design. Specifications given are most importantly diffraction limited image quality, correction of distortion throughout the field and telecentricity of systém in image space. F-theta lens in this thesis was created using an optical design software called Zemax.