Návrh manipulátoru pro TEM

Abstract

Tématem této diplomové práce je návrh manipulátoru vzorku pro TEM. V rámci tohoto tématu byl proveden návrh části manipulátoru vzorku sloužící k pohybu vzorkem ve směru osy đť‘Ą (tzv. x-posuv). V úvodní teoretické části práce je stručně rozebrána problematika transmisní elektronové mikroskopie se zřetelem na metody pozorování v TEMu a na způsoby přípravy a zakládání vzorku pro TEM. Teoretická část se dále věnuje konstrukci přesných mechanismů, zvláště s ohledem na vady jejich chodu a technologický aspekt jejich návrhu. V praktické části práce je proveden detailní rozbor návrhu x-posuvu. Je zde podrobně rozebrána kinematika a dynamika mechanismu, dále je zde popsána celková konstrukce mechanismu a podrobněji konstrukce některých jejich části.The topic of this master’s thesis is the design of a sample manipulator for TEM. Regarding which the segment of the sample manipulator used to move the sample in the direction of the x-axis (so-called x-stage) was designed. The introductory theoretical part is concerned with a brief description of transmission electron microscopy focused on the imaging methods used in TEM and the procedures of preparing and loading TEM samples. The theoretical part follows with the design of precise mechanisms, especially with respect to the inaccuracies of their operation and the technological aspect of the design. In the practical part, a detailed analysis of the design of the x-stage is presented. Kinematics and dynamics of the mechanism is analyzed in depth, following with the description of the overall design of the mechanism and some of its parts in detail.