KUTÁLEK, J. Měření tloušťky vrstev odprášeného materiálu ze vzorku v elektronovém mikroskopu [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta informačních technologií. 2023.
In the presented diploma thesis, the student implemented three methods for measuring slice thickness in dual-beam scanning electron microscope. The student further proposed and tested new calibration pattern and related algorithm for detecting the pattern and using the pattern as a measurement reference. The experimental work shows interesting results, which can and shall be extended in the future. The diploma thesis is well structured and conscicely written. In general, I consider this work excellent.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Informace k zadání | The difficulty of the assignment of this diploma thesis is above standard for two main reasons. First, the goal is to propose and implement new measurement tools for electron microscopy. This is a development/research task going beyond standard engineering. Second, the measurement scale and desired accuracy is in tens/units of nanometers, where it is not trivial to obtain reference and it is difficult to acquire test data. Despite the initial difficulties and uncertainties in the measuring reference, the student came up with a solid work which I am satisfied with. | ||
| Práce s literaturou | I find the student's activity in obtaining and using study materials slightly above average. The student showed the ability to study, understand and use research articles and other sources. | ||
| Aktivita během řešení, konzultace, komunikace | During the solution, the student was active, he often attended personal consultations with the supervisor and he regularly reported the progress in the weekly reports. He met the agreed deadlines and he was always well prepared for the consultation. | ||
| Aktivita při dokončování | The work was completed just before the deadline, but the final content was partially consulted with the supervisor. | ||
| Publikační činnost, ocenění | The work has been presented at the student conference EXCEL@FIT , where it received the committee award as well as the industry award. |
Autor práce prostudoval problematiku elektronových mikroskopů a metody pro měření tloušťky vrstev odprašeného materiálu ze vzorků elektronového mikroskopu a implementoval dvě nové metody. Dále navrhl komplexní způsob pro porovnání existujících a navržených metod, včetně sběru dat a jejich vyhodnocení. Vzhledem k obtížnosti a komplexnosti zadání navrhuji hodnocení stupněm A .
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Náročnost zadání | Zadání hodnotím jako obtížnější. Autor práce se musel seznámit s elektronovými mikroskopy, metodami pro změření tloušťky vrstev odprašeného materiálu ze vzorku elektronového mikroskopu a navrhnout metody nové. Dále bylo nutné navrhnout způsob sběru dat pro vyhodnocení a porovnání úspěšnosti jednotlivých metod. | ||
| Rozsah splnění požadavků zadání | Zadání bylo splněno ve všech bodech. | ||
| Rozsah technické zprávy | |||
| Prezentační úroveň technické zprávy | 95 | Prezentační úroveň zprávy považuji za nadprůměrnou. Text práce je srozumitelný a logicky strukturovaný. Jednotlivé kapitoly dobře navazují a prezentují základy elektronové mikroskopie, metody pro měření tloušťky vrstev odprašeného materiálu ze vzorku elektronového mikroskopu a návrh metod nových, následně vytvoření datasetů a vyhodnocením navržených metod na těchto datasetech. | |
| Formální úprava technické zprávy | 95 | Práce je psaná jazykově čistou a srozumitelnou angličtinou. Kromě rozmazaných grafů, které by bylo vhodné převést do vektorové podoby, jsem v práci nenalezl žádná vážnější provinění proti formální stránce. | |
| Práce s literaturou | 85 | Autor cituje 10 zdrojů převážně věděckých článků a žurnálů, které se týkají elektronové mikroskopie. Všechny zdroje jsou relavantní, avšak jejich výčet je značně útlý. | |
| Realizační výstup | 90 | Výsledkem práce je systém umožňující změření tloušťky vrstev odprašeného materiálu ze vzorků elektronového mikroskopu, jak existující metodou Chevrons , tak nově navrženými metodami Y-Shift SEM a Top-Down FIB . Systém také umožňuje vyhodnocení přesnosti měření. Nevýhodou aktuálního řešení je jeho složitá instalace a spuštění. | |
| Využitelnost výsledků | Téma diplomové práce bylo zadáno firmou Thermo Fisher Scientific. Výsledná práce obsahuje návrh nových metod pro měření tloušťky vrstev odprašeného materiálu ze vzorku elektronového mikroskopu a způsob získání ground-truth dat pro vyhodnocení daných metod. Výsledky práce jsou pro firmu přínosné. |
eVSKP id 148415