KOUDELA, O. Kontrast v obraze získaném pomocí scintilačního detektoru sekundárních elektronů ve VP SEM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2011.

Posudek vedoucího

Jirák, Josef

Diplomant se v práci zabýval problematikou detekce signálních elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu, pracujícím při vyšším tlaku v komoře vzorku (VP SEM). Cílem práce bylo vyhodnotit kontrast v obraze vzorku obsahujícího wolfram a měď při jeho pozorování scintilačním detektorem a posoudit vliv tlaku v komoře vzorku mikroskopu a pracovních podmínek na hodnotu kontrastu. Teoretickou část práce zaměřil na problematiku vzniku signálních elektronů a na seznámení s kontrastními mechanismy, uplatňujícími se v obraze sekundárních a zpětně odražených elektronů. V další části se věnoval detektorům, používaným v mikroskopech VP SEM pro detekci elektronů. V úvodu experimentální části práce diplomant uvádí popis pracoviště rastrovacího elektronového mikroskopu, použitého vzorku a způsob stanovení kontrastu mezi wolframem a mědí vyhodnocením úrovně šedi v obraze vzorku. Stanovené závislosti kontrastu na tlaku vodních par pro různá napětí na elektrodách a clonách detektoru a pro různé pracovní vzdálenosti vzorku jsou i s komentářem obsahem kap. 4.1 až 4.5. Experimentální výsledky jsou doplněny simulací drah elektronů pomocí programu Simion ver.8., simulace jsou však platné pouze pro pohyb elektronů ve vakuu a tak přímé srovnání dosažených výsledků s experimenty není možné. Diplomant v průběhu řešení projevoval zájem o řešenou problematiku, byl aktivní, požadavky zadání práce splnil v plném rozsahu. Práce je přehledně uspořádána do jednotlivých kapitol, výsledky práce jsou vcelku jasně formulovány a jsou využitelné při následném využití detektoru.

Posudek oponenta

Špinka, Jiří

Diplomová práce pana Koudely se zabývá detekcí signálu v komoře vzorku VP SEM s využitím scintilačního detektoru signálních elektronů a stanovením vlivu pracovních podmínek mikroskopu i nastavení detektoru, na získaný kontrast použitého vzorku C, W, Cu. Vychází z prací prováděných na UETE VUT Brno i na UPT AV ČR v této oblasti problematiky. Diplomant se zabýval vlivy jednotlivých napětí přiložených na jednotlivé elektrody použitého scintilačního detektoru i vlivy tlaku vodních par v komoře vzorku na kontrast zobrazení povrchu použitého vzorku. K práci mám následující dotazy a připomínky: Str.19 Obr. 2.8 Co myslíte, proč byl pro znázornění závislosti koeficientu emise SE na energii dopadajících elektronů pro různé úhly dopadu zvolen materiál NiC. Str. 25 Jen pro upřesnění pánové Fletcher, Thiele,, Donald [13] hovoří o ESEMu. Str. 28 Hovoříte o neměnném nastavení mikroskopu, což je poněkud zavádějící. Vhodnější by bylo použít Zvolené nastavení mikroskopu, protože jednotlivé veličiny lze samozřejmě měnit. Str. 31 Obr. 4.5 a další. Obdivuji vaši odvahu použít proložení, která jsou využita pro zobrazení. Jaká byly rovnice regrese v těchto případech a mají polynomická vyjádření fyzikální podstatnění? Pro prokládání polynomem bych doporučoval větší opatrnost. xcel je nástroj, který nám nesmí vnutit takové grafické vyjádření, které není přesvědčivé. Str. 31 – 36 Jednotlivé obrázky mají y stupnici kontrastu max . do 100 a z hlediska DTP vypadají prázdně . Na Obr. 4.12 – 4.16 jste použil stupnice kontrastu do max. 70. Proč ten rozdíl ? Str. 41. Pod snímky máte uvedeno Ipe = 100 pA, potom by bylo potřebné uvádět použité urychlovací napětí a další parametry.

eVSKP id 41107