FILLNER, P. Charakterizace dielektrických vrstev na křemíkové desce [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2018.
Student Patrik Fillner zpracoval svou bakalářskou práci dle zadání, čímž naplnil základní podmínku k odevzdání práce. Pro její sepsání volil trochu odlišnou a přitom logickous strukturu, kde teoretické rozbory i výsledková část jsou součástí dané kapitoly na jedno z řešených dílčích úkolů. Toto členění považuji za více přehledné a čitelné oproti zcela oddělené teoretické a výsledkové části. Student provedl řadu náročných experimentů,ve kterých se naučil připravit správně měřící pracoviště. Některá měření ověřil na dvou různých zařízení, aby zvolil tu nejlepší cestu pro přesná měření. Experimentální část byla náročná nejen rozsahem frekvencí, ale i velikostí proudů na úrovni pA, což vyžadovalo obzvláště speciální přístoje, pečlivost při zapojení a metodiky měření, která vyžadovala naprogramování přístrojů. Zpracování výsledků bylo děláno dle literatury tak, jak je běžné v dané oblasti, porovnání výsledků bylo provedeno v tabulkách. Přestože výsledky měřených dielektrik jsou ještě vdáleny od cílové struktury pro účely uchování energie na čipu, přispěla k vytvoření metodiky měření a vyhodnocení, nicméně ukázala limity naší technologie a jakým směrem se ubírat. Student pracoval převážně se zahraniční vědeckou literaturou, jejíž počet je na tuto práci lehce nad průměrem. Prokázal schopnost porozumět textům a orinetovat se v dané problematice. Velmi pozitivně musím hodnotit aktitivitu a samostatnost při experimentální práci včetně zpracování bakalářské práce. Své postupy průběžně konzultoval. Jedinou slabinou práce je dle mého názoru nedostatčné změření většího množství stejných vzorků, pro statistické vyhodnocení výsledků, ale toto vyžadovalo spoustu času, který zřejmě student již neměl. Student prokázal požadované schopnosti při zpracování bakalářské práce, potvrdil odbornou úroveň a samostatnost. Z uvedených důvodů hodnotím práci stupněm A a doporučuji k obhajobě.
Cílem práce bylo studium metod charakterizace dielektrických parametrů tenkých vrstev vytvořených CVD metodami na křemíkovém substrátu. Vlastnosti vzorků měly být stanoveny především z C-V charakteristik, ale měly být také vyšetřovány svodové proudy vzorků a jejich průrazné napětí. Zadání práce je náročné svým rozsahem. Při přípravě vzorků a vyhodnocování jejich vlastností se uplatňují komplikované procesy, které se navíc ještě mohou vzájemně ovlivňovat. Zvládnutí celé problematiky vyžadovalo nejen nastudování poměrně obtížných partií z popisu MIS struktur a diagnostiky jejich vlastností, ale i získání praktických dovednosti pro práci se speciálními měřicími přístroji a to vše při respektování vlastností extrémně tenkých vzorků s relativně malou plochou. Předložená bakalářské práce má práce má 46 číslovaných stran včetně seznamu obrázků, tabulek a symbolů. Je použito 38 odkazů, které jsou systematicky citovány. Po velmi krátkém úvodu jsou již od kapitoly .. “1.2 Teoretický popis jednotlivých vzoriek“.., která začíná na straně 4, popisovány použité vzorky a jejich příprava. Informace potřebné pro diagnostiku vzorků a zpracování měření jsou v textu průběžně doplňovány. Grafické provedení práce je standardní. Text je psán velmi úsporně, je však srozumitelný a závažné chyby se zde nevyskytují. Dokončování práce však mohlo být věnováno více času a pozornosti: U rovnic nejsou uváděny seznamy použitých veličin. Na stranách 34 a 35 jsou pod obrázky prázdná místa. Vyhodnocení naměřených výsledků je z velké části prezentováno ve formě popisu průběhů naměřených závislostí. Postrádám zde snahu o bližší vysvětlení a zdůvodnění. Zadání práce bylo splněno v požadovaném rozsahu. Pro spolehlivé zhodnocení vlastností zkoumaných materiálů a jejich technologie by bylo zapotřebí více vzorků a pravděpodobně také více času, než je v rámci řešení bakalářské práce k dispozici. Dle mého názoru je práce velmi přínosná jako základ pro další pokračování vývoje diagnostiky tenkých oxidových vrstev na pracovišti. Práci doporučuji k obhajobě.
eVSKP id 111749