Vliv pracovních podmínek v nízkovakuovém rastrovacím elektronovém mikroskopu na výsledky rentgenové analýzy - Hudzik, Martin (Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, 2014)
Bakalárska práca sa zaoberá detekciou charakteristického röntgenového žiarenia a energiovo disperznou spektroskopiou v prostredí nízkovákuového rastrovacieho elektrónového mikroskopu. Opisuje detekciu röntgenového žiarenia pomocou silicon drifted detektoru, a tiež princíp kvalitatívnej a kvantitatívnej röntgenovej analýzy. Cieľom tejto práce je predviesť energiovo disperznú spektroskopiu známych prvkov za optimálnych podmienok a sledovať zmeny parametrov a výsledkov spektroskopie počas zmeny pracovných podmienok v nízkovákuovom rastrovacom elektrónovom mikroskope Vega3 XMU s Xflash 6|10 spektroskopom.

Bachelor’s thesis deals with detection of characteristic X-Ray and energy dispersive spectroscopy in the environment of low vacuum scanning electron microscope. Describes the detection of X-Ray by silicon drifted detector and also describes the principles of qualitative and quantitative X-Ray analysis. The objective of this thesis is to perform energy dispersive spectroscopy of known elements under the optimal conditions and to monitor changes of parameters and results of the spectroscopy during the change of working conditions in low vacuum scanning electron microscope Vega3 XMU with Xflash 6|10 spectroscope.
Influence of working conditions on the results of X-ray analysis in the low vacuum scanning electron microscope
Keywords: rastrovací elektrónový mikroskop; nízkovákuový rastrovací elektrónový mikroskop; charakteristické röntgenové žiarenie; silicon drifted detektor; energiovo disperzná spektroskopia; prvková analýza; scanning electron microscope; low vacuum scanning electron microscope; characteristic X-Ray; silicon drifted detector; energy dispersive spectroscopy; element analysis