Pokročilé abrazivzdorné povlaky pro vakuové systémy - Hégr, Eduard (Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství, 2022)
Práce je zaměřena na výzkum pokročilých povrchových úprav, které mají přímý vliv na zvyšování užitných vlastností vakuových systémů (např. snížení opotřebení jednotlivých součástí vývěvy, netečnost povrchu vůči agresivním plynům/molekulám), ale taktéž mohou sekundárně ovlivnit i jiné významné vlastnosti vývěvy (např. snížení teploty vývěvy). Studované vrstvy/povlaky jsou rozdělené do tří oblastí (i) tvrdá anodická vrstva, (ii) tvrdá anodická vrstva s PTFE povlakem a (iii) DLC povlak. Výchozím materiálem (substrátem) je slitina na bázi hliníku, která se pro tento účel využívá. V rámci předložené práce byl prokázán vliv na zvýšení materiálově-fyzikálních vlastností jako např. zvýšení tvrdosti a otěruvzdornosti povrchu po aplikaci anodické vrstvy s PTFE povlakem. Teoretická část popisuje základní principy přípravy abrazivzdorných vrstev/povlaků a zároveň seznamuje s fyzikou vakua a základními principy se získáváním vakua, které podávají ucelený obraz o významnosti věnování se pokročilým povlakům. Experimentální část je rozdělena na zhodnocení mikrostruktury materiálu vzorků a druhá část je zaměřená experimenty potřebné k získání/proměření potřebných vlastností, které mohou být dále využity pro predikci poškozování vrstev/povlaků.

The thesis is focused on research of advanced surface resistant coatings which have a direct effect on increasing of functional properties of vacuum systems (eg reducing wear of individual pump components, surface inertia to aggressive gases/molecules). But they can also secondarily affect other important pump properties (eg reducing pump temperature). The studied layers/coatings are divided into three areas (i) hard anodic layer, (ii) hard anodic layer with PTFE coating and (iii) DLC coating. The initial material (substrate) is an aluminum-based alloy, which was used for this purpose. In presented thesis, the influence on increase of material and physical properties was demonstrated, such as the increase of hardness and abrasion resistance of the surface after the application of the anodic layer with PTFE coating. The theoretical part of thesis describes the basic principles of preparation of abrasion-resistant layers/coatings and also introduces the vacuum physics. It shows the basic principles of obtaining vacuum, which give a comprehensive picture of the importance of working with advanced coatings. The experimental part is divided into the evaluation of the microstructure of the sample material and the second part is focused on the experiments needed to obtain/measure the required properties, which can be further used to predict damage of the layers/coatings.
Advanced Abrasion Resistant Coatings for Vacuum Systems
Keywords: Pokročilé abrazivzdorné povlaky; anodická vrstva s PTFE; vakuum; tvrdost; součinitel opotřebení.; Advanced abrasion resistant coatings; anodic layer with PTFE; vacuum; hardness; wear coefficient.