Topná membrána typu MEMS s nízkým příkonem - Svatoš, Vojtěch (Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, 2012)
Cílem této práce je realizovat MEMS topnou membránu s nízkým příkonem. Práce obsahuje základní body návrhu a přehled technologií, které jsou určeny pro výrobu těchto topných elementů. Jako výchozí struktura pro realizaci topné membrány byl vybrán typ závěsné membrány. Na závěr této práce je uveden detailní technologický postup, který byl použit při výrobě finálních struktur a experimentální ověření odolnosti proti teplotnímu namáhání.

The aim of this thesis is to create the MEMS heating membrane with low power consumption. This work includes the main of design and fabrication processes of these heating elements. It was decided that the final sample will be created as suspended membrane type of the structure. It the end of the thesis there is detailed overview of the whole fabrication processes used for fabrication of final samples and the experiment to prove the resistance due to thermal stress.
Low power MEMS heating membrane
Keywords: Mikro-elektro-mechanické systémy; topné membrány s nízkým příkonem; senzor; litografie; leptání; depozice tenkých vrstev; křemík; uzavřená membrána; závěsná membrána; vyhřívání.; Micro-electro-mechanical systems; low power heating membranes; sensor; lithography; etching; thin layers deposition; silicon; closed-type of membrane; suspended type of membrane; heater.