Depozice a analýza AlCrN povlaků - Drásalová, Kateřina (Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství, 2021)
Bakalářská práce je zaměřena na problematiku depozice a metody studia kvality povrchových povlaků na bázi AlCrN, připravovaných metodami (i) magnetronového naprašování (Magnetron sputtering), (ii) magnetronového naprašování kombinovaného s obloukovým výbojem zesíleným doutnavým výbojem (Magnetron sputtering with arc enhanced glow discharge) a (iii) vysokovýkonného magnetronového naprašování s pohyblivým magnetickým polem (High power magnetron sputtering with movable magnetic field). Pozornost je věnována zejména charakterizaci vlastností připravených povlaků v závislosti na použité metodě (s různým stupněm ionizace). Pro posouzení kvality povrchových povlaků jsou využity testy adhezních a kohezních parametrů, hodnocení drsnosti pomocí AFM (Atomic force Microscopy), měření tloušťky povlaku pomocí kalotestu, měření vnitřního napětí metodou Bent-strip a instrumentovaná zkouška stanovení tvrdosti.

The topic of this thesis is the deposition process and methods of quality assessment of AlCrN surface coatings produced by methods of (i) magnetron sputtering, (ii) magnetron sputtering with arc enhanced glow discharge, and (iii) high power magnetron sputtering with the movable magnetic field. The main focus is placed on categorizing properties of the produced coatings based on the production method (which vary in the ionization level). Qualities of the surface coatings are assessed by adhesion and cohesion parameters testing of coarseness using AFM (Atomic Force Microscopy), depth measuring using a calotest, measuring internal tension using the Bent Strip Method and Instrumented indentation test for hardness.
Deposition and analysis of AlCrN coatings
Keywords: PVD; Magnetron sputtering; AlCrN; kohezní testy; adhezní testy; AFM; kalotest; vnitřní napětí dle Bent-strip; plastická tvrdost; PVD; Magnetron sputtering; AlCrN; Cohesion Tests; Adhesion Tests; AFM; Calotest; Internal Voltage According to Bent-strip; Plastic Hardness