Pokročilé techniky mikroobrábění - Šalomoun, Vojtěch (Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, 2014)
Výroba mikro-elektro-mechanických systémů (MEMS) vyžaduje pokročilý stupeň miniaturizace, kterého nelze dosáhnout klasickými mikroelektronickými technologiemi. Tzv. mikroobrábění zahrnuje celou řadu specifických technik, kterými lze zpracovat materiál, nejčastěji křemík, do podoby mikrostruktury, jejíž rozměry mohou klesat až pod 1 m. V úvodu této bakalářské práce je nastíněn obecný úvod do problematiky mikroobráběcích technologií a MEMS. Pozornost je věnována objemovému a povrchovému mikroobrábění prostřednictvím mokrého a suchého leptání. Na základě uvedených skutečností jsou dále navrženy typické mikrostruktury a jejich výrobní postup. Jejich mechanické chování je modelováno prostřednictvím počítačového prostředí CoventorWare 2012.

Fabrication of micro-electro-mechanical systems (MEMS) requires advanced level of miniaturization, which is not achievable by technology used in microeletronics. Socalled micromachining covers many unique techniques of material processing to get microstructures with possible dimensions below 1 m. This bachelor’s thesis gives a general introduce to micromachining of MEMS. Its focus is on bulk and surface micromachining by wet and dry etching. The practical part contains design of microstructures, their manufacturing process and creation of computer models in CoventorWare suite.
Advanced techniques of micromachining
Keywords: mikroobrábění; objemové; povrchové; křemík; XeF2; BOE; leptání; mikroelektromechanické systémy; MEMS; mikronosník; mikromůstek; mikromembrána; micromachining; bulk; surface; silicon; XeF2; BOE etching; microelectromechanical systems; MEMS; microcantilever; microbridge; micromembrane