OČKOVIČ, A. Sondy SPM s integrovaným senzorem pro měření elektrických vlastností materiálů [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2022.

Posudek vedoucího

Pavera, Michal

Adam Očkovič se ve své bakalářské práci věnuje výrobě samosnímacích vodivých sond. Hlavní motivací je tvorba sond umožňující měření proudu hrotem, které momentálně na trhu neexistují. Výsledky této práce tak mají velký praktický význam. Význam výsledků práce bohužel není plně reflektován v provedení textu. Ten přes své grafické zpracování a logické uspořádání jako celku ztrácí kvalitu v jednotlivých částech práce. Některé části nejsou vhodně provázány nebo se v nich objevují prázdné fráze jako „Různé signály jsou detekovány různými detektory a poté analyzovány“, což zhoršuje čitelnost. Občas se v textu ztrácí autorova původní motivace. Pravopisně je text, až na drobné překlepy jako „prekrzorů“ místo prekurzorů, v pořádku. Práci chybí hlubší práce s literaturou a na některé zdroje navíc chybí v textu odkazy. U popisů nedostatků sond chybí například přesnější specifikace popisovaných jevů, nebo používaných parametrů. Není také například zřejmé proč autor zvolil použité výchozí parametry depozice, či jak stanovil nejistoty měření. V praktické části autor postupoval systematicky, avšak s trochou úsilí a času navíc ji autor mohl doplnit o výsledky navržených řešení v poslední kapitole práce. I přes zde uvedené výtky autor v plné míře naplnil cíle bakalářské práce, své výsledky náležitě prakticky ozkoušel a umožnil tak na práci snadno navázat. Bakalářskou práci Adama Očkoviče doporučuji k obhajobě a hodnotím ji klasifikační známkou B.

Posudek oponenta

Vařeka, Karel

Bakalářská práce Adama Očkoviče se zabývá úpravou a následným testováním SPM sond s integrovaným senzorem, které jsou vhodné pro elektrická měření metodou AFM na mikroskopu Litescope od firmy NenoVision. Práce je poměrně logicky dělena do 8 kapitol včetně úvodu a závěru a je vysázena v prostředí TeX, tedy je na odpovídající grafické úrovni. Text práce je psán českým jazykem, vyskytuje se v něm však velké množství překlepů („prekrzor“, „může docházek“) a občasné nespisovné výrazy („závislost proudu na elektrickým napětí“). Z typografického hlediska má práce vysokou úroveň, až na opakované uvádění předpony kurzívou. I přes tyto nedostatky je práce srozumitelná a snadno se v ní čtenář orientuje, jelikož se autor na všechny obrázky v textu odkazuje (až na jeden případ, kde je chybně uvedený odkaz na obrázek 4.5a-f). V teoretické části se student věnuje představení použitých technik – AFM, CAFM, FIB, SEM. Kapitoly 2 a 3 popisují metody výroby sond a vysvětlují problematiku a různé způsoby měření CAFM pomocí piezorezistivních sond. Text práce je až na malé nedostatky řádně ocitován, nicméně pro snadnější orientaci bych osobně výčet literatury na konci uváděl v chronologickém pořadí, v jakém se v textu vyskytuje. Praktická část již pojednává o samotné úpravě a testování vodivých sond. Jsou popsány jednotlivé kroky při hledání vhodných parametrů pro FIBID a FEBID depozici na testovací vzorky, depozice Pt vrstvy na hrot a vodivé spojení s termálním aktuátorem sondy. Některé části jsou mírně nesrozumitelné a občas chybí informace o daném vzorku, např. na jaký substrát byly testovací struktury deponovány, jak byla vytvořena mřížka s vodivou vrstvou zlata, či porovnání hrotu před samotnou úpravou. Mimo jiné student během svého výzkumu řeší problém s charakteristickým odporem R_wh. Nicméně pokusy o jeho zvýšení odprášením kráterů pomocí FIB (Ga, Xe) mezi jednotlivými kontakty byly bohužel neúspěšné. Závěrem student nově upravené sondy testuje a ilustruje jejich schopnosti a limitace. Adam Očkovič získal mnoho cenných zkušeností s fungováním sond s integrovanými senzory využívající se v mikroskopu Litescope a výsledky jeho snažení mají bezpochyby své praktické uplatnění. Práci hodnotím stupněm A a doporučuji k obhajobě.

eVSKP id 139598