MACHO, M. Oxidace povrchu karbidu křemíku za použití svazků atomárního kyslíku [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2025.
Student Matěj Macho se ve své bakalářské práci zabýval oxidací povrchu SiC za pomocí svazku atomárního kyslíku o termální energii. Bylo připraveno několik vzorků, které byly vystaveny svazku za pokojové teploty. Byla vhodně zvolena chemická analýza pomocí XPS a určena tloušťka vzniklé oxidové vrstvy měřením ARXPS. Drsnost povrchu byla následně měřena AFM. V rámci práce byl dále připraven nový držák vzorku k nepřímému vysokoteplotnímu ohřevu, který byl řádně otestován. Dané zařízení bylo využito k žíhaní připravených vzorků, na kterých byla provedena oxidace. Práce je logicky uspořádaná a naplňuje požadavky navržených cílů práce. Text je zpracovaný čtivě a na dobré jazykové úrovni. Rešerši provedenou na téma metody oxidace karbidu křemíku a metod vysokoteplotního ohřevu vzorku ve vakuu považuji za uspokojivou pro rozsah bakalářské práce. Zahrnuté citace nabízejí dostatečné podklady k popisu zpracované problematiky. Ovšem očekával bych větší aktivitu a iniciativu studenta, zejména v řešení návrhu držáku vzorku pro elektronový ohřev. Pozdní seznámení se s analytickou technikou se projevilo na urychleném vysvětlení výsledků. Dřívější vyhotovení první verze práce by zamezilo výskytu menších nedokonalostí v práci. Nabízelo by se proměřit větší množství vzorků, aby bylo možné prokázat opakovatelnost přípravy. Přesto si myslím, že bylo dosaženo dobrého popisu experimentu a získaných výsledků. Musím vyzdvihnout grafické zpracování, které je provedeno na vysoké úrovni. Výsledky v práci považuji za přínosné a budou pravděpodobně použity k dalšímu výzkumu. Přes drobné výhrady ke zpracování hodnotím práci studenta jako velmi dobrou a doporučuji práci k obhajobě.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | A | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | A | ||
| Vlastní přínos a originalita | B | ||
| Schopnost interpretovat dosažené výsledky a vyvozovat z nich závěry | B | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | B | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | A | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | A | ||
| Práce s literaturou včetně citací | B | ||
| Samostatnost studenta při zpracování tématu | C |
Student Matej Macho se ve své bakalářské práci zabývá oxidací karbidu křemíku (SiC) pomocí zdroje atomárního kyslíku již dříve vyvinutém na Ústavu fyzikálního inženýrství (UFI), VUT Brno. Možnost přípravy kvalitních a tenkých oxidových vrstev hraje zásadní roli pro aplikaci SiC v polovodičových součástkách na bázi MOSFET a jiných. Jedná se o velice zajímavé téma vzhledem dlouholeté spolupráci UFI VUT s firmou OnSemi, Rožnov pod Radhoštěm, která si v posledních letech dala za cíl spolu s celým konsorciem stát se světovým lídrem v SiC polovodičových technologiích. První část práce představuje rozsáhlou rešerši pojednávající o základních fyzikálních vlastnostech SiC, jeho výrobě a aplikacích v oblasti polovodičových technologiích. Díky tomu je čtenáři zřetelně představena i motivace celé práce. I když je tato část práce psána srozumitelně a přehledně, některé fráze a sdělení se často opakují, což tuto část poněkud zbytečně prodlužuje. V experimentální části student nejprve popisuje návrh, výrobu a testování paletky (držáku vzorku) umožňujícího žíhaní vzorku SiC pomocí elektronového bombardování uvnitř UHV aparatury. Žíhání zde slouží k odstranění povrchových nečistot a nativní vrstvy oxidu, což bylo následně úspěšně potvrzeno technikou XPS. Dále byla úspěšně provedena oxidace vyžíhaného vzorku SiC pomocí zdroje atomárního kyslíku. Přítomnost vrstvy byla opět prokázána pomocí XPS. Navíc byla určena i tloušťka vytvořené vrstvy provedením úlohově rozlišeného měření XPS. Veškeré výsledky jsou v práci důkladně a přehledně diskutovány. Práci hodnotím jako zdařilou. Matej Macho prokázal, že se dokázal zorientovat v dané problematice a získané znalosti dokázal uplatnit v praxi. Podařilo se tak splnit všechny cíle práce. Po jazykové a grafické stránce je práce na velmi dobré úrovni. Obsahuje jen malé množství překlepů a je psaná velice srozumitelně. Práci doporučuji k obhajobě a hodnotím ji známkou A
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | A | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | A | ||
| Vlastní přínos a originalita | A | ||
| Schopnost interpretovat dosaž. výsledky a vyvozovat z nich závěry | A | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | A | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | A | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | A | ||
| Práce s literaturou včetně citací | A |
eVSKP id 166083