DUDA, R. Analýza ultratenkých vrstev metodami SIMS a TOF-LEIS [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2008.
Diplomová práce se zabývala novým doposud nepublikovaným přístupem k analýze tenkých vrstev pomocí střídavého hlobkového profilování metodou ToF-LEIS a SIMS. Diplomant dostatečně zvládnul teoretické základy těchto metod. Podařilo se mu změřit několik hloubkových profilů a na nejzdařilejším z nich demonstroval nové možnosti analýzy, které přináší střídavé hloubkové profilování metodami ToF-LEIS a SIMS. Vytvořením programu LEISInt přispěl k efektivnímu vyhodnocování velkého množství změřených energiových spekter. Aby bylo možné lépe porozumět výsledkům získaných metodou ToF-LEIS, provedl řadu simulací energiových spekter různými programy. Vytvořil program TRIMImp umožňující získat hodnotné informace o odražených iontech. Vytvoření zmíněných programů muselo být věnováno značné množství času. Pomocí simulací změřených spekter ToF-LEIS byl navržen postup měření tloušťky analyzovaných vrstev. V práci provedl srovnání hloubkových profilů ToF-LEIS a SIMS. Tato práce rozhodně prokázala diplomantovu schopnost řešit danou problematiku a srozumitelně prezentovat dosažené výsledky. Závěrem bych chtěl především ocenit intenzitu tvůrčí práce diplomanta. Souhrnem klasifikuji tuto práci stupněm A.
Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
---|---|---|---|
Splnění požadavků a cílů zadání | A | ||
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | A | ||
Vlastní přínos a originalita | A | ||
Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry | A | ||
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | A | ||
Logické uspořádání práce a formální náležitosti | A | ||
Grafická, stylistická úprava a pravopis | B | ||
Práce s literaturou včetně citací | B | ||
Samostatnost studenta při zpracování tématu | A |
Předložená práce popisuje originální metodu analýzy velmi tenkých vrstev, která spočívá v kombinaci metod TOF-LEIS a SIMS. Práce je přehledně rozdělena do 6 kapitol. V prvních dvou kapitolách jsou dobře a stručný způsobem popsány metody TOF –LEIS a SIMS. Nicméně mi v 1. kapitole chybí odstavec nebo alespoň zmínka o velmi důležitých procesech neutralizace He+ iontů při rozptylu a re-ionizace He projektilů odražených z větších hloubek. Na straně 18 v odstavci nahoře diplomant tvrdí, že z hodnot proudu vzorkem v závislosti na místě dopadu iontu lze získat prvkovou mapu povrchu. Tady je třeba si uvědomit, že lokální vodivost je ovlivněna nejen typem prvku, ale i strukturou, morfologií a čistotou (adsorbáty) povrchu a dále že měřený absorbovaný proud je ovlivněn i emisními jevy, které také silně závisí na adsorbátech. Přesná interpretace kontrastu obrazu v režimu absorbovaného primárního proudu pak obecně nemusí být jednoznačná nebo jednoduchá. V kapitolách 3 a 4 uplatnil diplomant svůj programátorský talent a vytvořil dva programy profesionální úrovně, které jsou důležitou součástí nové kombinované metody TOF – LEIS –SIMS. V kapitole 5 jsou popsány experimentální výsledky – měření hloubkového profilu vzorku Al(6 nm)/Co(10 nm)/Si novou metodou TOF-LEIS-SIMS popsanou v předchozích kapitolách. Výsledky, tj. obrázky 5.3 až 5.5 jsou velmi originální a diplomant si rozumným způsobem poradil i s jejich obtížnou interpretací. Diplomant si povšiml i zdánlivě paradoxního jevu, kdy signál pocházející od Co nezmizel ani poté, co se odprášila vrstva zoxidovaného křemíku a vyslovil doměnku, že se jedná o důsledek zdrsňování povrchu s postupujícím odprašováním. Je škoda, že se nepokusil nějakým způsobem tuto drsnost (a zároveň rovnost dna kráteru) změřit a svoji doměnku ověřit, protože se může jednat o důležitou věc z hlediska dosažitelného hloubkového rozlišení popisované metody TOF-LEIS-SIMS. Také není jasné, zda profilování nebylo ukončeno příliš brzy a zda by signál od Co nakonec neklesl k nule poté, co se dno odprašovaného kráteru dostatečně vzdálí od SiO2/Si rozhraní. V kapitole 6. diplomant porovnává simulace TOF-LEIS spekter vygenerovaných programy TRIM/TRIMInp, TRBS a LMD. Jedná se o obtížný problém a rozumné shody mapř. programů TRIM/TRIMInp a TRBS se podařilo dosáhnout až po použití fitovacího faktoru, jehož fyzikální význam není jasný. V závěru diplomant stručně shrnul výsledky své práce a naznačil že lépe interpretovatelné výsledky by mohlo přinést použití definovanějších tenkovrstvých vzorků. S tím mohu jen souhlasit a doporučit vzorky s vnořenými delta-vrstvami vhodného prvku v křemíku připravené metodou MBE. V práci jsem našel zanedbatelné minimum formálních nedostatků (par. 1.6.2 poslední věta 2. odstavce: zřejmě se jedná o odkaz na obrázek 1.7 a nikoliv 5.1.; kap. 3 druhá řádka má být Ion místo Iont)
Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
---|---|---|---|
Splnění požadavků a cílů zadání | A | ||
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | A | ||
Vlastní přínos a originalita | A | ||
Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry | A | ||
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | B | ||
Logické uspořádání práce a formální náležitosti | A | ||
Grafická, stylistická úprava a pravopis | A | ||
Práce s literaturou včetně citací | A |
eVSKP id 13301