JANŮ, L. Charakterizace plazmatu pro vytváření tenkých organokřemíkových vrstev z hexamethyldisiloxanu [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. 2011.
Cílem bakalářské práce byla diagnostika nízkotlakého RF kapacitně vázaného plazmatu během depozice tenkých vrstev v parách hexamethyldisiloxanu s přídavkem kyslíku. Optická emisní spektra byla snímána v závislosti na různých parametrech výboje (výkon, střída, složení plynů). Již při identifikaci nasnímaných spekter se ukázalo, že v publikacích tato spektra prezentována nejsou, a jsou-li, nejsou zřejmě správně identifikována. Detailní konfrontace tohoto zásadního poznatku vyžaduje intenzivní studium s využitím dalších diagnostických technik (např. in situ hmotnostní spektrometrie) i numerických simulací, což by mělo být předmětem dalšího studia. Ze změřených optických spekter byla vypočtena elektronová teplota, další parametry bohužel stanovit nešlo, neboť se ve spektrech nenašly vhodné částice pro výpočet teplot. Závislosti intenzit vybraných emitujících částic ukazují na některé trendy ve fragmentaci původního prekurzoru, detailní rozbor kinetiky však neumožňují, neboť optickou emisní spektroskopií není možné detekovat nezářící, zpravidla těžší víceatomové, částice. K tomu by měla napomoci právě in situ hmotnostní spektroskopie, se kterou se počítá pro řešení diplomové práce. Studentka pracovala poměrně samostatně, aktivně pracovala s literaturou a snažila se pochopit procesy probíhající během depozice. Získané poznatky představují dobrou základnu pro další samostatnou práci během navazujícího magisterského studia.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků zadání | A | ||
| Studium literatury a její zpracování | B | ||
| Využití poznatků z literatury | B | ||
| Kvalita zpracování výsledků | A | ||
| Interpretace výsledků, jejich diskuse | A | ||
| Závěry práce a jejich formulace | A | ||
| Využívání konzultací při řešení práce | A | ||
| Celkový přístup k řešení úkolů | A |
Předložená bakalářská práce je experimentálního charakteru a je věnována charakterizaci plazmatu metodou optické emisní spektroskopie. Autorka realizovala experiment s radiofrekvenčním kapacitně vázaným plazmatem a zkoumala ho při různých experimentálních podmínkách. Práce vychází z 23 rešerší a je logicky členěna do 6 kapitol. V teoretické části autorka stručně charakterizovala plazma, polymeraci plazmatem a popsala fyzikální princip optické emisní spektroskopie. Experimentální část je věnována popisu měřící aparatury a specifikaci experimentálních podmínek. Dále následují výsledky, závěr a seznam použité literatury. Autorka se při vypracován dopustila několika chyb: V celé práci nejsou očíslované rovnice a vztahy, když se o nich autorka zmiňuje v dalším textu, není zcela zřejmé, o který vztah se jedná (např. str. 18 dole, řešení Schrödingerovy rovnice se zjednoduší, ale které? Na začátku strany je rovnice rozdělena na tři). V textu chybí odkazy na obrázky (např. str. 12, obrázek 1, str. 13, obrázek 3). Teorie věnující se optické emisní spektroskopii a počítání teplot je zbytečně obsáhlá, podaná ne zcela jasným způsobem a ve výsledcích v podstatě nevyužitá. V uvedených experimentálních podmínkách, str. 28 a str. 29, není uveden průtok nebo koncentrace monomeru. Závěr práce a získané výsledky jsou spíše popisné a není jasné, jestli byly při experimentech nějaké vrstvy vytvářeny a zda lze z těchto získaných výsledků vyvodit optimální depoziční podmínky, jak autorka zmiňuje na str. 26.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků zadání | C | ||
| Logické členění práce | A | ||
| Kvalita zpracování výsledků | C | ||
| Interpretace výsledků, jejich diskuse | D | ||
| Využití literatury a její citace | C | ||
| Úroveň jazykového zpracování | B | ||
| Formální úroveň práce – celkový dojem | C | ||
| Závěry práce a jejich formulace | C |
eVSKP id 32772