HOUŠKA, D. Optimalizace procesu hloubkového reaktivního iontového leptání [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2019.
Předmětem bakalářské práce byla oblast technologií pro mikroelektromechanické systémy. Konkrétně šlo o optimalizaci kryogenního i Bosch procesu reaktivního hloubkového iontového leptání (DRIE). V teoretické části práce se student zabývá litografií, mokrým leptáním a suchým leptáním s důrazem na reaktivní iontové leptání. Celou teoretickou část zpracoval student David Houška zcela samostatně s použitím jím vybrané i vedoucím doporučené literatury, ze které vybral a zpracoval nejpodstatnější části, které následně využil při realizaci praktické části práce. Praktickou část práce představovala optimalizace obou zmíněných DRIE procesů na základě analýzy vzorků pomocí rastrovací elektronové mikroskopie. U optimalizovaných vzorků pak byla analyzována drsnost povrchu stěn leptaných struktur pomocí mikroskopie atomárních sil a analýza fluoridových reziduí pomocí rentgenové fotoelektronové spektroskopie. Veškeré výsledky student přehledně zpracoval a učinil závěry a doporučení pro dosažení co nejlepších výsledků leptání. Student David Houška přistupoval po celou dobu k práci na bakalářském projektu zodpovědně a účastnil se schůzek v předem dohodnutých termínech. Věnoval se řádně studiu jím vybrané i vedoucím doporučené literatury a přicházel samostatně s návrhy řešení situací a problémů. Závěrečné zpracování a sepsání výsledků do bakalářské práce proběhlo bez problému, i když vzhledem k dlouhodobé nefunkčnosti některých klíčových zařízení by bylo ještě vhodné udělat některé doplňkové experimenty, zejména k Bosch procesu. K formálnímu zpracování práce rovněž nemám téměř žádné výhrady. Je nutné podotknout, že student strávil při realizacích vzorků a jejich analýze desítky až stovky hodin v čistých laboratořích CEITEC Nano a v Laboratoři mikrosenzorů a nanotechnologií na ústavu mikroelektroniky, kde se naučil samostatně pracovat na všech zařízeních nutných pro zpracování práce. Kvalitu práce rovněž podtrhuje fakt, že část výsledků práce již byla prezentována v rámci konferenčního příspěvku na mezinárodní konferenci 42nd International Spring Seminar on Electronics Technology – ISSE 2018 konané v Polsku, kde je student spoluautorem. Celkovou kvalitu práce považuji za nadstandardní a věřím, že bude přínosem pro další rozvoj mikroelektronických technologií na VUT v Brně. S ohledem na uvedené skutečnosti navrhuji hodnocení A 98b.
Předložená práce, která se zabývá konvenční metodou výroby do křemíku hluboko leptaných struktur, splňuje svým rozsahem, zpracováním a úrovní požadavky na závěrečnou bakalářskou práci. Je zřejmé, že student nastudoval a v praxi ověřil potřebné výrobní techniky, což dále prokázalo zvládnutí samostatné práce včetně studia zahraniční literatury. Cílem práce bylo seznámit se s technologií hlubokého leptání křemíku, navrhnout testovací strukturu a optimalizovat samotný proces leptání. Lze konstatovat, že cíle práce byly splněny. Samotná kvalita práce je na vysoké úrovni a obsahem překračuje požadovaný rozsah. Vědeckou hodnotu práce hodnotím jako vysokou a celkově doporučuji práci k obhajobě s hodnocením 100b, A.
eVSKP id 119435