POKLUDA, T. Ionizační detektor pro ESEM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2013.
Diplomant se v práci zabýval problematikou detekce signálních elektronů v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu pomocí ionizačního detektoru. Cílem práce bylo navrhnout, realizovat a ověřit elektrodový systém ionizačního detektoru, který by byl vhodný pro detekci signálních elektronů s větším podílem sekundárních elektronů. Teoretická část práce je v souladu se zadáním orientována na problematiku vzniku signálních elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu, jejich detekci při vyšších tlacích v komoře vzorku mikroskopu a je zde uvedena i základní teorie nárazové ionizace v plynech, nacházející uplatnění při rozboru činnosti ionizačního detektoru. Na základě teoretických poznatků diplomant navrhl elektrodový systém ionizačního detektoru, který následně realizoval technologiemi, požívanými při výrobě plošných spojů. Úvodní představa o pohybu signálních elektronů v elektrodovém systému detektoru byla získána simulacemi drah elektronů v elektrostatickém poli detektoru pomocí programu Simion. V následných experimentech, které diplomat uskutečnil a správně vyhodnotil, se prokázala vhodnost navržených elektrodových systémů pro detekci sekundárních elektronů. Diplomant v průběhu řešení projevoval zájem o řešenou problematiku, byl aktivní, požadavky zadání práce splnil v plném rozsahu. Nedostatky se však projevily při formulaci textu diplomové práce, rozsáhlejší mohlo být využití odborných cizojazyčných publikací a v práci lze nalézt i formální nedostatky. Výsledky práce najdou uplatnění při realizaci detektoru pro mikroskop VEGA 3 XMU, který je nově instalovaný na ústavu elektrotechnologie.
Předložená diplomová práce řeší problematiku detekce signálních elektronů v environmentálním elektronovém mikroskopu (EREM) pomocí ionizačního detektoru. Byla navržena, modelována, při použití běžných postupů pro výrobu plošných spojů vyrobena a zároveň proměřena nová konstrukce elektrodového systému. Celý proces vedl k tomu, aby mohl být zvýrazněn podíl sekundárních elektronů, čímž byl úkol formulovaný v zadání splněn. Práce má poměrně vysokou úroveň. Výběr studijních podkladů, uvedený v přehledu literatury je postačující a umožnil zpracovat teoretickou část práce na poměrně dobré úrovni. Dosažené výsledky modelování jsou přesvědčivé a mohly být použity pro konkrétní řešení detektoru, práce přináší podnětné odborné poznatky. K práci mám následující připomínky : Obrázky na str. 14 a 15 jsou dosti zjednodušující, vhodnější by byly..např. z novější literatury Vámi označené jako [9] NEBESÁŘOVÁ, J., Elektronová mikroskopie [cit. 2011-03-20]. Dostupné z WWW: http://www.paru.cas.cz/lem/book. V kapitole 3.1 se hovoří o Townsendově teorii, ale je zaveden pouze první Townsendův ionizační činitel (viz rov. 4) pak i druhý Townsendův ionizační činitel . Bez bližšího uvedení souvislostí a vysvětlení. (vhodné by bylo použít např. http://www.aldebaran.cz/studium/vyboje.pdf) Uvádět detektor Everhart Thornely je snad už jen pro zaplnění místa. Pan Pokluda zvolil pro simulace vhodně EBSE = 12 keV, což je energie kterou má největší podíl BSE..při UB = 20KV. V Obr. 20,21,22 a 23 vlevo není uvedeno jaké napětí (kolik V) bylo přiloženo na elektrodu..bylo to 350V ? Na str.41 je uvedeno- Pro odstranění stejnosměrné složky ve vyhodnoceném signálu z platiny byla od hodnoty signálu z platiny odečtena hodnota signálu z otvoru dle rov. 14. Ve vlastní rovnici 14 jsou zřejmě přehozené indexy, protože jinak by vycházela záporná hodnota. Na str.50, je věta nedokončena … Při srovnání s detektorem, u kterého byly použity k detekci signálu obě elektrody (detekční i okolní), se ukazuje, že z hlediska nižších hodnot kontrastu a tedy i menšího podílu zpětně odražených elektronů v celkovém detekovaném signálu jsou oba detektory ID1 a ID2 s napětím na okolní elektrodě vhodnější………………pro co vhodnější. V Závěru je další nedotažená věta…V souladu s teorií maxima velikosti signálu u obou detektorů nastávají vždy pro větší pracovní vzdálenost vzorku při nižším tlaku v komoře vzorku …….co nastává? Technik, zvláště inženýr by se měl vyjadřovat precizněji. Co je podle vás mírně upřednostnit…..zkuste to vyjádřit třeba procentuelně.
eVSKP id 66993