HLAVATÁ, K. Automatické měření výšky a polohy depozice indukované iontovým svazkem v systémech FIB/SEM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2025.
Práce byla vypracována pod vedením externího konzultanta RNDr. Pavola Ulbricha. Jeho posudek přikládám níže. S posudkem souhlasím, kladně na práci oceňuji samostatnost studentky a vysokou aplikovatelnost výsledků ve firmě ThermoFisher Scientific. Posudek RNDr. Pavol Ulbrich: In this highly specific and domain oriented thesis, the student focused on the modern problem in current electron microscopy: analysis and design of improved workflow for deposition checks for various chemistries. Apart from traditional chemistries Tungsten and Carbon, she also worked with Silicon and Platina, which are not widely used and scarsly found in the public literature. I write this review as an internal consultant employed at ThermoFisher Scientific (TFS), thus my domain knowledge and access to the research and findings in this field is different compared to the general academia. Kristina did an excellent job introducing a reader into the topic, effectively explaining the core principles of the scanning electron microscopy (SEM) and different SEM hardware modules, which are being used in the process of deposition measurement. The thesis continued with a chapter about simple and more advanced image processing methods. I would highlight the very professional images, which facilitate the understanding of these image processing techniques on a SEM imaging pictures. The core of this thesis lies in extensive measurements, testing, deep understanding, and optimalization of the deposition process for all 4 chemistries. The author considers several variables and parameters, both fixed and adjustable, which were statistically analyzed and evaluated for best possible result for each chemistry. The individual Automatic Control Flow (ACF) process is well explained, including data gathering and handling, or reasoning behind used image processing methods and their effects on the flow. The final evaluation of ACF is done manually, but with a very favorable results. Once again, I would like to rise into prominence good explanations greatly supported by suitable practical examples, figures, and graphs. My concern is regarding the evaluation chapter, which in my opinion lacks an automated approach or even a proof-of-concept of automatic evaluation. Instead, it relies only on manual testing, which is not suitable for the full adaptation of the software solution to the customer. I would argue that the greatest weakness of this thesis is cited literature and citation sources, which are not many. It resulted in an extremely brief state-of-the-art subchapter 4.1. In my opinion, there should be considered also marginally related sources of the chemistry deposition research, such as [1, 2]. However, I understand the reasoning behind limited bibliography, since the majority of the used know-how is treated as a business secret in TFS. Overall, Kristina did a great job. The contribution and effort she put into this work is undisputable. She actively participated in the internal meetings regarding this topic, consulted with several more domain experts, and reported her progress updates at regular intervals. Her thesis is easy to read and exhibits many signs of well thought and professionally conducted scientific research. Of course, some parts might undergo through some further refinement, especially considering limited already published research, but it does not effect the readability of the whole thesis. Considering all written above, I would suggest evaluating this thesis with 95 points (grade A). [1] HE, Zhibin, et al. Deposition and electrocatalytic properties of platinum nanoparticals on carbon nanotubes for methanol electrooxidation. Materials Chemistry and Physics, 2004, 85.2-3: 396-401. [2] DOMÍNGUEZ-DOMÍNGUEZ, Sonia, et al. Electrochemical deposition of platinum nanoparticles on different carbon supports and conducting polymers. Journal of Applied Electrochemistry, 2008, 38: 259-268.
Studentka se ve své práci věnovala metodám optimalizace depozičních procesů ve FIB/SEM systémech. Předložená práce má rozsah 59 stran a je členěná do sedmi kapitol včetně úvodu a závěru. V teoretické části práce se studentka věnuje jak popisu principů elektronové mikroskopie, tak metod zpracování obrazů z elektronové mikroskopie a metody pro optimalizaci depozice. Velice chválím, že zejména kapitola zaměřená na zpracování obrazových dat je doplněná praktickými ukázkami na obrazu z elektronové mikroskopie. Tím dochází k dokonalému propojení teorie na praktickou část práce. V této praktické části práce se studentka věnuje zejména optimalizaci depozitních podmínek pro různé materiály jako je uhlík, wolfram, platina a křemík. Součásti praktické části práce je návrh vhodných parametrů depozice zejména pro křemík a realizace automatického procesu pro detekci vzorku a stanovení výšky depoziční vrstvy. Výsledky automatické detekce jsou porovnané s manuálním zpracováním dat. Funkčnost a přesnost celého postupu tak byla velice dobře vyhodnocená a navržený postup se ukazuje jako velice efektivní. Po formální stránce je práce na výborné úrovni, členění do kapitol je přehledné. Drobnou výtku mám k citacím, kdy jsou citace uvedené převážně za jednotlivými odstavci. Lépe je zakomponovat citace k jednotlivým důležitým tvrzením a tím je více propojit s textem a tím zjednodušit čtenáři vyhledávání dalších informací. Zadání práce považuji za zcela splněné a hodnotím stupněm A (95 bodů).
eVSKP id 167540