DROZD, J. Vliv iontové implantace na parametry polovodičových desek z karbidu křemíku [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2025.
Pan Jiří Drozd ve své diplomové práci zpracoval téma průhybu polovodičových desek z karbidu křemíku vlivem implantace hliníku. Během výroby polovodičových součástek na tomto materiálu se jedná o jev způsobující na některých výrobních krocích vážné problémy. Zejména se jedná o komplikace v manipulaci s deskami vedoucí k jejich lomu, nebo deformace fotolitografických motivů způsobující odchylky kritických elektrických parametrů polovodičových součástek snižující jejich výrobní výtěžnost a spolehlivost. V teoretické části práce student detailně popsal proces implantace příměsí do polovodičových desek a důvody vedoucí k průhybu desek. V praktické části nejprve určil závislost hodnoty průhybu na parametrech implantace (energie, dávka) a následně navrhl metody pro omezení tohoto jevu a experimentálně je ověřil. Na základě získaných dat byl schopen kvantifikovat efektivitu jednotlivých metod. Velmi důležité je, že výsledky práce je možno přímo zavést do stávajících výrobních postupů, protože zkoumané metody byly navrženy s ohledem na současné procesní a strojové možnosti výrobní linky polovodičových součástek. Odhadované roční úspory nákladů při zavedení do výroby jsou v řádu milionů CZK. Student během realizace diplomové práce pracoval samostatně a s výhodou využil znalostí získaných během studia svého oboru na vysoké škole. Cíle diplomové práce byly splněny a hodnotím ji známkou A.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | A | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | A | ||
| Vlastní přínos a originalita | A | ||
| Schopnost interpretovat dosažené výsledky a vyvozovat z nich závěry | A | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | A | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | A | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | A | ||
| Práce s literaturou včetně citací | A | ||
| Samostatnost studenta při zpracování tématu | A |
Diplomová práce zachovává obvyklou strukturu prací na univerzitě VUT s vhodně definovaným cílem a závěrem a je rozdělena na část teoretickou, praktickou a experimentální. V teoretické části je výborně popsána metoda používaná v praxi pro selektivní dopaci polovodičového materiálu, včetně používaných dopantů. Práce také obsahuje velké množství obzázků a schémat, které pomáhají k pochopení a názornému zobrazení studovaného problému, což ale na druhou stranu přináší jisté stylistické problémy při formátování práce. V praktické a experimentální části student i přes řadu praktických omezení vhodně zvolil jednu měřící metodu pro zhodnocení vlivu jednotlivých parametrů iontové implantace na výsledné prohnutí polovodičových desek a vypracoval experiment, pomocí kterého s omezenou opakovatelností kvantifikoval vliv iontové implantace na tento materiál. Poslední část práce se zabývá vyhodnocením praktických metod, které lze při použít při výrobě polovodičových součástek na substrátu z karbidu křemíku pro zmírnění dopadů iontové implantace. Stejně jako v předchozí části je tato část omezená prakticky z hlediska statistické studie přesnosti a opakovatelnosti dosažených výsledků. Dle mého hodnocení student splnil zadané cíle diplomové práce a doporučuji tedy práci k obhajobě.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | A | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | B | ||
| Vlastní přínos a originalita | A | ||
| Schopnost interpretovat dosaž. výsledky a vyvozovat z nich závěry | A | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | A | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | A | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | B | ||
| Práce s literaturou včetně citací | A |
eVSKP id 162476