STANĚK, J. Studium chemického čištění povrchů metodou LEIS [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2017.
Cílem této práce bylo optimalizovat čistící procedury pro různé materiály v polovodičovém průmyslu. Byl vybrán polovodič telurid kademnatý (CdTe). Povrch byl čištěn roztoky hypobromidu a brommethanolu. Tyto roztoky se kromě čištění používají také k ochuzení povrchové vrstvy o kadmium, aby vznikl stabilní oxid teluru. Připravené vzorky byly analyzovány metodami LEIS a XPS. Použité roztoky měnily hloubkové složení vzorků. Díky hloubkovému profilování metodou LEIS se podařilo u roztoku hypobromidu prokázat silné ochuzení povrchu o kadmium až do hloubky stovek nanometrů. Přínosné je i porovnání obou použitých metod, které pro stejnou informační hloubku poskytly srovnatelnou kvantitativní informaci o poměru Cd a Te. Práce splnila očekávání, i když bylo provedeno měření pouze na jenom typu vzorků. Původní záměr otestovat povrchovou citlivost metody LEIS při čištění různých druhů vzorků nebyl zcela naplněn a proto hodnotím práci stupněm B.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | C | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | A | ||
| Vlastní přínos a originalita | B | ||
| Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry | B | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | A | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | A | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | B | ||
| Práce s literaturou včetně citací | A | ||
| Samostatnost studenta při zpracování tématu | C |
V rešeršní části student podrobně popsal metodu LEIS, která je stěžejní pro určení povrchového složení CdTe krystalů. Tyto krystaly byly po provedeném leptání analyzovány metodami LEIS a XPS. Student prokázal, že dosažené výsledky oběma metodami jsou v dobré shodě a zhodnotil povrchové složení vzorků po provedeném leptání. Práce je srozumitelně napsána, jednotlivé kapitoly na sebe logicky navazují. Student splnil všechny body zadání bakalářské práce a doporučuji tuto práci k veřejné obhajobě.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | A | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | A | ||
| Vlastní přínos a originalita | B | ||
| Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry | B | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | A | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | A | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | B | ||
| Práce s literaturou včetně citací | A |
eVSKP id 101607