Posudky závěrečné kvalifikační práce

Bakalářská práce byla zaměřena na problematiku výroby polovodičových prvků na křemíku. Pan Ježek odzkoušel technologii a vyrobil na substrátu monokrystalického Si i vhodné vzorky, které následně proměřil a měření vyhodnotil. Svým obsahem a zaměřením je předkládaná práce náročná a zadání je splněno.Student během řešení bakalářské práce pracoval velice aktivně, řešení průběžně konzultoval s vedoucím práce, na konzultace byl připraven.Práce byla dokončena v dostatečném předstihu a její definitivní obsah dostatečně a včas konzultován.Práce po formální stránce splňuje požadavky na bakalářskou práci.Pan Ježek pracoval s literaturou zcela samostatně, využíval vhodné prameny ve kterých se orientoval s přehledem a výborně je využil ve své práci. Student prokázal schopnosti samostatné práce, pracoval samostatně, předložená práce má vysokou úroveň.

Posudek oponenta

Mikulík, Petr

Student během své bakalářské práce připravil polovodičové součástky (rezistory, diody, tranzistory, …) na křemíkové desce v procesu používaném v praktiku FEKT VUT v čistých prostorách na Ústavu fyziky kondenzovaných látek PřF MU. Student popsal použité technologické procesy a parametry některých z nich teoreticky či numericky nasimuloval. Dále měření proměřil elektrické charakteristiky podstatně více součástek než je v běžném praktiku možné a to na jiné aparatuře pro hrotové měření než se v praktiku používá. Zpracování výsledků a prezentace získaných výsledků bylo provedeno správně, proto práci doporučuji k obhajobě s výše uvedeným bodovým hodnocením odpovídající známce B. Kromě výše uvedeného pozitivního hodnocení bych měl i několik kritických připomínek. Autor v bakalářské práci prokazuje znalost jednotlivých metod, simulací i experimentů, ale jejich výsledky nebyly v práci vzájemně propojeny či okomentovány (např. tloušťka oxidu byla nasimulována ale nezměřena) – stačil by krátký komentář, experimentální těžiště práce bylo v měření elektrických vlastností. Očekával bych lépe promyšlený Úvod a Závěr práce, viz níže. Dále mi chybí popis aparatury použité pro hrotové měření. Předpokládal bych též porovnání získaných výsledků s výsledky hrotového měření získaného během praktika či v citované diplomové práci.

Otázky

1. V kapitole Úvod mi chybí jasně definované cíle práce; první věta, která se tomu věnuje, je příliš vágní. Očekával bych zde popis kapitol tak, jak je to sepsané až v kapitole Závěr, samozřejmě kromě číselných výstupů.
2) V kapitole Závěr bych očekával propojení výsledků, kterých bylo dosaženo. Takhle je to popsáno jako výčet různých metod použitých při přípravě součástek, ale nedá se rozpoznat, co z toho je popis, co z toho běžné výpočty, a co z toho je vlastní práce autora. Např. zde není žádná návaznost spočtených tlouštěk oxidů na jejich skutečné hodnoty nebo vztah spočtené hloubky PN přechodu k funkčnosti součástek. Chybí zhodnocení výsledků hrotových měření, tj. výtah nejdůležitějších výsledků z kap. 9.5 s hrubým popisem topologie součástek, jako jsou např. rozměry těchto součástek.
3. Kap. 5.2.2. Jak jste zjistil tloušťku fotorezistu?
4. Kap. 5.2.2 a 5.2.4. Myslím, že se používá název přední a zadní strana desky (ne primární a sekundární).
5. Kap. 5.2.4. Chybný vzájemný odkaz na 5.2.2.
6. Kap 5.2.9 a 5.4.1. Uvedený čas leptání závisí na tloušťce leptané vrstvy a na teplotě lázně.
7. Obrázky a fotografie (schémata, součástky) v kapitole 6. Není zřejmé, co z toho jsou fotografie opravdu vyrobených součástek a co špatně naskenovaná schémata. Též chybí měřítka a popisy symbolů. Obr. 6.3, 6.4 a 6.5 a další jsou rozmazané, proč? Je to nekvalitně ofocené nebo převedené do ztrátového jpegu, což bychom s čárovou grafikou nikdy neměli udělat?
8. Kap. 6. Chybí schéma vertikálního profilu součástek.
9. Obr. 6.5, 6.8, 6.11. Chybí popisy použitých barev.
10. Proč jsou rovnice na str. 40–41 jako obrázky (zabarvené do červena zase kvůli jpg?)? A proč byly zkopírovány i s překlepem p místo p? Odkud jste vzal hodnotu p =0,048 a v jakých jednotkách?
11. Rovnice (16): Patří erfc místo efrc.
12. Číslování tabulek na str. 40–41 je nějaké divné, stejně jako odkazy na neexistující tabulky 10.1 a 10.2.
13. Kapitola 9. Chybí popis měřící aparatury pro hrotové měření; vzhledem k tomu, že veškeré obhajované experimentální výsledky na ni byly proměřeny, se mi zdá tato absence dosti podstatná.
14. Kapitola 9. Jedním ze zdrojů k této práci byla i diplomová práce pana Truhláře, která se tímto tématem též zabývá. Souhlasí Vaše měření s jeho výsledky?
15. Kapitola 9. Souhlasí Vaše měření s výsledky na deskách Vašich spolužáků měřenými na jiné aparatuře?

Posudky

Posudek vedoucího

Špinka, Jiří

Posudek oponenta

Mikulík, Petr

Otázky