DROZD, M. Návrh automatizované aparatury určené pro inspekci křemíkových desek ovrstvených PMMA [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2020.
Bakalářská práce zpracovaná studentem Michalem Drozdem se zabývá vývojem zařízení a metodiky určené pro odhalování a lokalizování defektů v elektronovém rezistu (PMMA) na křemíkových deskách určených pro expozice v elektronovém litografu. Jedná se o unikátní zařízení, k jehož tvorbě student přistupoval s velice kreativním přístupem a pečlivostí jemu vlastní. Průběh prací student pravidelně konzultoval jak na úrovni metodické, tak na úrovni konstrukční, kdy si prakticky celé zařízení postavil a naprogramoval zcela samostatně. Do řešení student vnesl několik originálních prvků souvisejících jak s mechanickou částí aparatury tak se zpracováním obrazových dat, které byly publikovány ve formě článku v recenzovaném periodiku Jordan Journal of Physics přiloženého k práci. Samotná práce je logicky uspořádaná do čtyř kapitol, kde první kapitola pokrývá úvod do problematiky, kapitoly 2 a 3 pokrývají praktickou a teoretickou stránku řešení a čtvrtá kapitola předkládá závěry. Zvlášť je potřeba ocenit krom jiného fakt, že je celá práce psaná anglicky a nasázená v systému TeX, čímž se student prakticky vyhnul typografickým chybám a nekonzistentním odkazům na literaturu či obrázky. Do budoucna student hodlá zařízení zdokonalit pro rutinní užívání na Ústavu přístrojové techniky AV ČR. Z výše uvedených důvodů doporučuji práci k obhajobě a navrhuji hodnocení A - 100 bodů.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | A | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | A | ||
| Vlastní přínos a originalita | A | ||
| Schopnost interpretovat dosažené výsledky a vyvozovat z nich závěry | A | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | A | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | A | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | A | ||
| Práce s literaturou včetně citací | A | ||
| Samostatnost studenta při zpracování tématu | A |
Student popsal důležitý aspekt problematiky analýzy tenké vrstvy elektronového rezistu, který se používá v elektronové litografii. Dále navrhl řešení diagnostiky této vrstvy a realizoval aparaturu, která metodiku implementuje na technické úrovni. Získaná data slouží pro přesné vymezení oblastí, na které není vhodné exponovat a od samého počátku tak snižují počet defektů na minimum. Podle obsahu prvních kapitol je zřejmé, že autor velmi dobře rozumí metodě elektronové litografie a v dalších kapitolách demonstruje schopnost vytvořit si vlastní náhled na hodnocení kvality vrstvy elektronového rezistu. Autor bakalářské práce také provedl výzkum základních typů defektů a popsal důvody jejich vzniku. V práci jsou přítomna i praktická doporučení, která jsou založená jak na teoretické analýze, tak i na experimentálních datech. Praktickým výstupem této práce je realizace technické části, funkční aparatury a softwaru pro automatickou detekci defektů na povrchu rezistu. Zvláštní pozornost je věnována algoritmu pro zpracování obrazů získaných skenováním povlakovaného křemíkového waferu CCD kamerou. Autor také naznačuje možnost budoucího vylepšení popsané technologie. Příloha obsahuje publikaci hlavních výsledků práce v časopise, který je uvedený v databázi Scopus. Práce neobsahuje vážné chyby, formální výhrady popsané níže nesnižují kvalitu práce. Začátek věty spojkou (strana 8). Chybějící odkazy na obrázky 2.5, 2.6 a 3.8 v textu. Strana 24 „Sample figure“ by mělo být „Sample image“. Strana 28 „Total number of defects“ by mělo být místo „The number of total defects“ Obsah je prezentován logicky a mezi sekcemi je jasná posloupnost i jejich návaznost. Doporučuji tuto práci k obhajobě a hodnotím ji jako výbornou.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | A | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | A | ||
| Vlastní přínos a originalita | A | ||
| Schopnost interpretovat dosaž. výsledky a vyvozovat z nich závěry | A | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | A | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | B | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | A | ||
| Práce s literaturou včetně citací | A |
eVSKP id 125271