KORYČÁNEK, A. Příprava optických tenkých vrstev metodou depozice z chemických par [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2024.

Posudek vedoucího

Kolíbal, Miroslav

Adam Koryčánek začal na své bakalářské práci pracovat na podzim, situaci měl ztíženou tím, že téma pro něj bylo velkou neznámou. Musel tedy nejen nastudovat zadaný problém, ale zejména v poměrně krátkém čase zvládnout několik experimentálních technik, včetně práce s naměřenými daty. Se situací se vypořádal dobře – poměrně brzy byl schopen samostatně připravovat vrstvy na ALD reaktoru a souběžně se učil na vzorcích z Meopta optika tyto charakterizovat. S tím, jak k práci přistoupil jsem spokojen. V případě neúspěchu při depozicích tyto opakoval, a snažil se odhalit příčinu. Zde narážel na nedostatečnou znalost dějů, ke kterým při depozicích dochází, což ho limitovalo v interpretaci výsledků a hledání cest jak problémy vyřešit. Vzhledem k tomuto faktu, a zejména tomu, že text práce bylo nutné intenzivně korigovat (a přesto jeho podoba stále není dobrá), volím sníženou známku C.

Posudek oponenta

Kvapil, Michal

Student Adam Koryčánek se ve své bakalářské práci zaměřil na přípravu tenkých vrstev HfO2 a TiO2 metodou ALD a charakterizaci těchto vrstev pomocí spektroskopické elipsometrie, AFM a XPS. Jím připravené vrstvy srovnává s vrstvami, které obdržel od firmy Meopta a které také charakterizoval výše uvedenými technikami. Z výsledků prezentovaných v předložené práci je zřejmé, že si student osvojil řadu experimentálních technik a je schopen připravit a charakterizovat tenké vrstvy oxidů. Přesto se však nepodařilo naplnit všechny cíle zadání bakalářské práce, neboť neproběhla žádná optimalizace depozičního procesu; a to ani úprava receptu pro depozici HfO2. Mé připomínky k předložené práci lze rozdělit na faktické a formální. Z faktických bych zmínil následující: - V kapitole 1 si autor protiřečí, když uvádí, že myšlenka antireflexních vrstev pochází od Johna Strutta (Lorda Rayleigho), a zároveň uvádí, že první skutečné antireflexní vrstvy vyrobil Fraunhofer roku 1817, tedy 25 let před narozením Strutta. - Zatímco se autor relativně důkladně zaměřuje na přehled dostupných prekurzorů k depozici kovu na povrch substrátu pomocí metody ALD, roli druhého z prekurzorů, tj. vodní páry, nijak nerozebírá. - Tloušťky vrstev uvedené v textu na straně 23 nejsou zaokrouhleny podle zvyklostí, podobně také některé veličiny uvedené v tab. 4.2. - V části 4.3 autor spekuluje, že absence interferenčních jevů u jím připravených vrstev HfO2 (obr 4.4) je způsobena vysokou drsností připravených vrstev. Přehlíží fakt, že jeho vrstvy HfO2 jsou výrazně tenčí něž srovnatelné vrstvy z Meopty a navíc mají také značně nižší index lomu. Domnívám se, že připravené vrstvy HfO2 by ve sledovaném intervalu vlnových délek nevykazovaly žádný náznak interference ani kdyby byly dokonale hladké. Některé formálních a stylistické nedostatky: - Strana 5, autor v textu značí odrazivost soustavy písmenem "R", hned v následujících vztazích ji však značí "r". - Vztahy na straně 5 nejsou očíslovány. - Na stranách 13 a 14 je porušena posloupnost prvního výskytu odkazů na literaturu. - Odkazy na rovnice by v textu kapitoly 3 měly být uvedeny v  závorkách. - Kapitola 4 by měla začínat na samostatné (a pravé) straně. Obecně působí vyjadřování autora v textu práce poněkud kostrbatě a neodborně, obzvláště, když popisuje principy některých technik. Zmíním následující: "... světlu s určitou orientací." (str. 14), "Rentgenové záření je charakterizováno vysokou energetickou hodnotou, což způsobuje emisi atomů." (str. 19),  "... hladkost povrchu..." (str. 28), v popisu tab. 4.1 je jako jednotky času použito vteřiny. Přesto všechno, si myslím, že autor při zpracování tématu práce získal jak cenné experimentální zkušenosti tak i relativně slušné výsledky, a hodnotím tak předloženou bakalářskou práci jako dobrou, tedy klasifikačním stupněm C.

eVSKP id 158074