DULÁK, R. Mikroelektromechanické propoje na křemíkovém substrátu [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2023.
Předmětem bakalářské práce byla oblast mikroelektromechanických systémů realizovaných na křemíkovém substrátu. Konkrétně se jednalo o různé možnosti vytvoření elektrických propojů zkrz křemíkový substrát s využitím dostupných technologií v čistých laboratořích CEITEC Nano. Celou teoretickou část student zpracoval zcela samostatně, přičemž prokázal schopnost pracovat s literaturou, ze které vybral a zpracoval nejpodstatnější části, které následně využil během praktické části práce. Tu představovalo vytvoření děr do křemíkového substrátu pomocí dvou metod, jejich odizolování od substrátu a následné vytvoření elektrického propoje pomocí elektricky vodivého prokovu. Veškeré výsledky student přehledně zpracoval do tabulek, obrázků a grafických závislostí a učinil závěry o vhodnosti využití jednotlivých postupů pro realizaci propojů na čipu. Student Radovan Dulák přistupoval po celou dobu k práci na bakalářském projektu zodpovědně a účastnil se schůzek v předem dohodnutých termínech. Věnoval se řádně studiu jím vybrané i vedoucím doporučené literatury a přicházel samostatně s návrhy řešení situací a problémů. Během praktické realizace si student osvojil práci na spoustě zařízení pro výrobu mikroelektronických struktur a mikroelektromechanických systémů a strávil desítky hodin v čistých laboratořích nad časově náročnými experimenty. Závěrečné zpracování a sepsání výsledků do bakalářské práce proběhlo bez problému. K formálnímu zpracování práce nemám téměř žádné výhrady. Věřím, že celková kvalita práce je na dobré úrovni a že bude přínosem pro další rozvoj laboratoří CEITEC Nano. S ohledem na uvedené skutečnosti navrhuji hodnocení A 95b.
Předložená práce, která se zabývá nekonvenční metodou výroby metalických prokovů pro MEMS, splňuje svým rozsahem, zpracováním a úrovní požadavky na závěrečnou bakalářskou práci. Je zřejmé, že student nastudoval a v praxi ověřil potřebné výrobní techniky, což dále prokázalo zvládnutí samostatné práce včetně studia zahraniční literatury. Cílem práce bylo ověřit možnosti aplikace známých technik pro výrobu prokovů a otestovat nestandartní postupy leptání skrze křemíkový čip. Lze konstatovat, že cíle práce byly splněny. Samotná kvalita práce je na vysoké úrovni pouze se zanedbatelným množstvím formálních chyb. Vědeckou hodnotu práce hodnotím jako vysokou a celkově doporučuji práci k obhajobě, A, 92b.
eVSKP id 152258