UHLÁŘ, V. Víceelektrodový systém ionizačního detektoru pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2015.

Posudky

Posudek vedoucího

Jirák, Josef

Diplomant se v práci zabýval problematikou detekce signálních elektronů v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu pomocí ionizačního detektoru. Cílem práce bylo ověřit u segmentového elektrodového systému ionizačního detektoru vliv podmínek detekce na detekovaný signál a navrhnout vhodné zapojení elektrod detektoru pro detekci signálu s vyšším podílem sekundárních elektronů. Teoretická část práce je orientována na problematiku rastrovací elektronové mikroskopie, vzniku signálních elektronů a jejich detekce při vyšších tlacích v komoře vzorku mikroskopu pomocí ionizačního detektoru. V závěru teoretické části je uveden přehled nejznámějších typů ionizačních detektorů a je zde popsána metoda napěťového kontrastu, která je v práci použita k posouzení detekce sekundárních elektronů. V experimentální části práce diplomant provedl rozsáhlou řadu experimentů, na jejichž základě byl ověřen vliv podmínek detekce, zapojení elektrodového systému detektoru a přiložených potenciálů k elektrodám na velikost detekovaného signálu a kontrast v obraze standardního vzorku. Na základě uskutečněných experimentů diplomant vyhodnotil optimální uspořádání detektoru pro detekci sekundárních elektronů, které bylo následně potvrzeno při sledování napěťového kontrastu na přechodu emitor báze tranzistoru. Diplomant byl v průběhu experimentálních prací aktivní, požadavky zadání práce splnil. Nedostatky se projevily při formulaci textu práce,její teoretická část je založena výhradně na literatuře publikované v českém jazyce. Předpokládá se, že výsledky práce najdou uplatnění při realizaci ionizačního detektoru pro mikroskop VEGA 3 XMU v laboratoři na ústavu elektrotechnologie.

Navrhovaná známka
C
Body
78

Posudek oponenta

Špinka, Jiří

Předložená diplomová práce řeší problematiku detekce signálních elektronů v environmentálním elektronovém mikroskopu (EREM) pomocí víceelektrodového ionizačního detektoru. Byla využita již používaná konstrukce elektrodového systému. Celá praktická část vychází z měření na známém systému Cu-otvor v uhlíku-Pt a hledání podmínek detekce takových, aby byl potlačen podíl BSE elektronů ve získaném signálu. Úkol formulovaný v zadání byl splněn, předpokládal bych ale, že výstupem diplomové práce bude i návrh vhodné konfigurace elektrodového systému, jeho odzkoušení i návrh optimálních podmínek detekce. Práce má odpovídající úroveň, výběr studijních podkladů, uvedený v přehledu literatury se omezil pouze na prameny v českém jazyce, ale zdá se že byly postačující,umožnily zpracovat teoretickou část práce na poměrně dobré úrovni. S doporučeními uvedenými v závěru lze souhlasit, ale mohly být použity pro konkrétní řešení detektoru. K práci mám následující připomínky : Str.36, myslíte že HELIX poskytuje výhodu jen pro detekci při nižších tlacích, když se naopak snažíme o to aby ESEM pracoval převážně při co nejvyšších tlacích v komoře vzorku ? Str.40, Obr. 25 je nekvalitní. Str.42 x 43, používáte jednou termín vnější, jindy okolní elektroda. Obr. 30, je v pravé části zobrazeno stejné místo na vzorku? Str.56, který obrázek byl získán při pracovní vzdálenosti 4 mm? Diplomant prokázal schopnost inženýrské práce, práci doporučuji k obhajobě.

Navrhovaná známka
C
Body
76

Otázky

eVSKP id 86993