KRÁTKÝ, S. Technologie leptání křemíku [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2012.
Diplomová práce se zabývá tématem z oblasti mikrotechnologie se zaměřením na problematiku technologie leptání křemíku. Diplomant měl ve své práci za úkol teoreticky i experimentálně zkoumat technologie leptání křemíku mokrou a suchou cestou. Přitom důraz byl kladen na využitelnost těchto technologií pro tvorbu mikroreliéfních struktur. Diplomant byl ve své práci veden tak, aby nejdříve provedl teoretický rozbor zadaných úkolů a seznámil se s odbornou literaturou z oblasti křemíkové technologie a mikrotechnologie. Na základě teoretické studie provedl rešerši dané problematiky včetně rozboru teoretických a experimentálních modelů z dané oblasti. V první části diplomové práce se diplomant zabývá anizotropním leptání křemíku. Provedl rozsáhlá měření na anizotropně leptaných reliéfech v křemíku, které sám připravil, a vyhodnotil závislosti leptací rychlostí křemíku a další parametry leptání. Svými výsledky ověřil platnost teoretického modelu. V druhé části práce si diplomant osvojil teoretické znalosti i praktické dovednosti z oblasti plasmatické technologie. Za obzvláště přínosnou lze považovat práci odvedenou na stanovení parametrů leptání rezistu v kyslíku a křemíku v tetrafluormethanu u plasmatické aparatury DIENER nano. Text diplomové práce je psaný srozumitelně a přesvědčivě. Práce sice obsahuje některé drobné nedostatky, nicméně vzhledem k rozsáhlosti prácí odvedených na řešení dvou rozsáhlých témat je lze ospravedlnit. Celkově diplomant přistupoval k práci velmi aktivně a zodpovědně.
Na diplomové práci je vidět, že student získal dobré teoretické základy, aby byl schopen navrhnout a realizovat postup pro měření leptání křemíku. Členění práce je přehledné a srozumitelné. V první části se diplomant věnuje teoretickému rozboru problému a ukazuje možnosti a způsoby leptání křemíku. V experimentální části práce věnuje velkou pozornost volbě leptaného vzoru a přípravě vzorků na samotný proces leptání. Je vidět, že se diplomant musel naučit mnoho chemických a mechanických úkonů pro získání kvalitních dat a musel zvládnout práci na mnoha složitých zařízeních. V práci jsem nenašel gramatické ani výrazné stylistické chyby. Poukázal bych na vztahy 9 -12 kde se ztrácejí indexy označující záporné ionty. U tabulky 4 je uvedena tloušťka oxidové vrstvy v závislosti na čase leptání a její údaj (sloupec 3 a 5) narůstá, místo aby klesal. U ostatních tabulek je uvedena hloubka leptu. Jediná výraznější chyba, kterou bych chtěl zdůraznit je absence určení přesnosti a to jak u výpočtu, tak i u měření. Práce neobsahuje žádné chybové údaje jednotlivých měření daných přístrojem tak i případné střední kvadratické odchylky pro více měření. U vztahů 49 a 57 je výpočet, vycházející z bodů určených na 0,1 nm, určen s přesností na 0,001 nm. Před případným využitím těchto hodnot v praxi by chtělo určit přesně intervaly spolehlivosti pro tyto výpočty. S výjimkou této chyby hodnotím předloženou diplomovou práci jako velmi zdařilou a doporučuji ji k obhajobě.
eVSKP id 57591